当社は前工程(合成/純化/分析)プロセスから後工程(充填包装/容器製造/バルブメンテナンス) に至るまで、一貫した技術を保有し、広範囲にわたるサービスを提供し続ける世界有数のハイテクCVD/ALD先端材料メーカーです。
南美特(Nanmat Technology)は取引先である半導体メーカーに高品質な化学気相成長材料（CVD/ALD Precursors)、最先端high-k 及び low k誘電材料を提供するとともに、お客様のニーズに合わせた合成、純化及び包装といった特注品の製造にも対応しております。また製造工程における収率向上をサポートします。
南美特(Nanmat Technology)はサイズ、安全性など、お客様のご要望に合わせたオーダーメイドステンレス容器を提供しています。また、南美特(Nanmat Technology)はステンレス容器の液面レベルを即時に検知できる(レベルゲージ)の設計開発も行っており、既に米国と台湾での特許権を取得しています。
南美特(Nanmat Technology)は Wonik-IPS の液体輸送システム LDS i-Chem T20、i-Chem T-50設備、MSPフィルターVPG-A6及びVPG-A3 の代理店として、お客様の様々なニーズにお応えできる豊富な製品ラインナップ、タイムリーな技術サービスを提供しています。
南美特(Nanmat Technology)は長年にわたる開発経験やノウハウを生かし、設備定期メンテナンスの更なる効率化を実現できる溶剤パイプライン清掃技術の開発に成功しました。バルブ、配管洗浄サービスの提供により、消耗品のコスト削減をお手伝いいたします。
南美特(Nanmat Technology)は1998年に高雄楠梓加工区(現在は「楠梓科技産業園区」へ改称)に拠点を設立し、台湾に根ざした企業として、半導体化学気相成長材料の発展を支えてまいりました。各種先端 CVD/ALD (Chemical Vapor Deposition /Atomic Layer Deposition )化学気相成長材料の研究開発及び製造を主に行っており、前工程(合成、純化、分析)プロセスから後工程(充填包装、容器製造、技術サービス) に至るまで、すべての工程を一貫してサポートする世界有数のハイテク先端材料メーカーです。
20年以上の研究開発と技術革新を経て、当社製品は高い品質・信頼性が認められ、世界の多くの半導体メーカーに採用され、激戦区の半導体材料世界市場で優位なシェアを確保しております。現在では、取引先はアジア、アメリカ大陸に広がり、グローバルな事業展開を進めております。そして、今後ますます多様化するお客様のニーズに応えるべく、南美特(Nanmat Technology)は以下の商品・サービスを提供しています。
* 化学気相成長材料 (CVD/ALD Precursors)
* 液体輸送システム (Liquid Delivery System)
* 先駆体フィルター
* 液面検知システム
* 材料及びステンレス容器の設計開発サービス
* バルブ洗浄回收
応用 |
製品名 |
|---|---|
Dielectrics PMD / IMD |
• TEOS / TEPO / TMPO / TEB / TMB |
Low K Dielectrics |
• 4MS / OMCTS / DMDMOS |
High K Dielectrics |
• TAETO (Ta2O5 Precursor ) |
Metal Gate and Interconnect Metal |
• TDMAT ( TiN Precursor ) |
Low-Temp Nitride / Oxide |
• HCDS / 3DMAS / BTBAS |
Dopants |
• Trans DCE |
SAM Coating |
• FDTS / BTCSE / DI Water |
特注ステンレス容器/