台灣最大CVD材料製造商

大中華地區唯一具備從前段(合成/純化/分析)製程整合至後段(裝填包裝/容器製造/閥件維修)完整技術服務的高科技CVD/ALD先進材料公司。

南美特提供半導體客戶優質、價美之化學氣相沉積材料(CVD Precursor),包含最先進之 high K 及low k dielectrics 材料,並配合其需求進行客製化合成,純化或包裝,以提高其製程良率及降低設備擁有成本(Cost of Ownership; COO)。

客製化鋼瓶/液位計

南美特可客製化修改鋼瓶尺寸以迎合客戶安全與各類鋼瓶需求;南美特提供各類開發設計鋼瓶液位偵測 (液位計)以幫客所即時監測液位, 即已獲美國台灣之專利。

液體傳輸系統/過濾器

南美特代理Wonik-IPS之液體傳輸系統 LDS i-Chem T20及
i-Chem T-50機台及MSP之過濾器VPG-A6及VPG-A3 以提供客戶全面性產品線及即時之技術服務。

閥件、管件清洗服務

Cost Down的最佳途徑

南美特利用多年研發經驗發展出一套溶劑清潔管線技術 (solvent clean system) 以改善設備定期維護(Preventative Maintenance, PM)效率;並提 供閥件、管件清洗服務以進一步替客戶有效地大幅降低耗材成本 (Cost of Consumables, COC)。

詳情


產品特點

南美特於1998年正式進駐於高雄楠梓加工區,為台灣致力於發展半導體化學氣相沉積材料的本土公司,專業研發及製造各種先進 CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料,是全球少數能提供從前段﹝合成,純化,分析﹞製程整合至後段﹝裝填包裝,容器製造,技術服務﹞ 的高科技先進材料公司。

歷經10餘年之研發創新,產品早已獲得當地絕大部分半導體製造公司的品質認同及採用,於歐美日國際大廠環伺的半導體材料市場亦已佔有相當之市場。目前客戶群橫跨歐、美、亞三洲並逐步開始建構國際行銷網路,加強促進與國際接軌。 為整合客戶的需求,南美特提供下列的產品及服務:

* 化學氣相沉積材料 (CVD Precursor)
* 液體傳輸系統 (Liquid Deliver System)
* 先驅體濾材
* 液位偵測系統
* 材料及鋼瓶之設計開發服務
* 閥件清洗回收

技術文件

詢價

應用 產品名稱
Dielectrics PMD/IMD • TEOS • TEPO • TMPO • TEB • TMB
Low K Dielectrics • 4MS • OMCATS
High K Dielectrics

• TAETO (Ta2O5 Precursor )
• TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)

• TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal

• TDMAT (TiN Precursor )

• TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide • HCDS
Diffusion • POCl3